Plasma oppervlak skoonmaak is 'n proses waarin onsuiwerhede en kontaminante van die monster oppervlak verwyder word deur die skepping van hoë-energie plasma uit gasvormige deeltjies, dit is ontwerp vir verskeie toepassings soos oppervlak skoonmaak, oppervlak sterilisasie, oppervlak aktivering, oppervlak energie verandering, oppervlakvoorbereiding vir binding en adhesie, modifikasie van oppervlakchemie.